发明名称 |
Verfahren zum Wachsen eines P-SiC-Halbleitereinkristalls und P-SiC-Halbleitereinkristall |
摘要 |
Verfahren zum Wachsen eines p-SiC-Halbleitereinkristalls, mit den Schritten: Präparieren einer Lösung durch Zugabe von C, Al und N zu einer Si-Schmelze derart, dass die Menge von zugegebenem Al größer als die von zugegebenem N ist; und Wachsen des p-SiC-Halbleitereinkristalls auf dem SiC-Einkristallsubstrat aus der Lösung.
|
申请公布号 |
DE112009000196(B4) |
申请公布日期 |
2012.06.06 |
申请号 |
DE200911000196T |
申请日期 |
2009.01.28 |
申请人 |
TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SEKI, AKINORI;FUKIWARA, YASUYUKI |
分类号 |
C30B29/36;C30B15/00;C30B19/00 |
主分类号 |
C30B29/36 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|