| 发明名称 | 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括安装在引电极上的上绝缘套和位于上绝缘套下方的下绝缘套，所述上绝缘套和下绝缘套均位于炉底盘和引电极之间，所述上绝缘套和下绝缘套之间设置有绝缘环，所述上绝缘套和绝缘环之间设置有密封圈一，所述下绝缘套和绝缘环之间设置有密封圈二，所述上绝缘套和密封圈一之间设置有防护套。该电阻化学气相沉积炉引电极密封装置的结构简单，高温时的密封效果显著提高，延长了使用寿命，便于推广应用。 | ||
| 申请公布号 | CN202265607U | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN201120407665.6 | 申请日期 | 2011.10.24 |
| 申请人 | 西安超码科技有限公司 | 发明人 | 赵俊;姚西明;樊振宁;杨漫;刘伟 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;F16J15/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人 | 谭文琰 |
| 主权项 | 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括安装在引电极(1)上的上绝缘套(5)和位于上绝缘套(5)下方的下绝缘套(3)，所述上绝缘套(5)和下绝缘套(3)均位于炉底盘(4)和引电极(1)之间，所述上绝缘套(5)和下绝缘套(3)之间设置有绝缘环(8)，所述上绝缘套(5)和绝缘环(8)之间设置有密封圈一(7)，所述下绝缘套(3)和绝缘环(8)之间设置有密封圈二(9)，其特征在于：所述上绝缘套(5)和密封圈一(7)之间设置有防护套(6)。 | ||
| 地址 | 710065 陕西省西安市高新区高新路42号金融大厦1802室 | ||