一种硅片优化调度的方法和装置

摘要

本发明提供了一种硅片优化调度的方法和装置，所述方法包括：基于系统状态节点，模拟各种可能的子路径，得到多个可行的硅片移动路径；所述各种可能的子路径包括硅片从源装载模块移动至缓冲模块中的子路径；比较所模拟得到的多个可行的移动路径，获取其中用时最短的移动路径作为最优移动路径；按照最优移动路径执行硅片的移动任务。由于本发明将可能影响效率的Buffer模块的移动任务也纳入到了最优调度序列的计算中，提高了Buffer模块的移动任务执行时，其他任务的并发度，提高了Job的执行效率，进而提高了刻蚀机台的产率。

主权项

一种硅片优化调度的方法，其特征在于，包括：基于系统状态节点，模拟各种可能的子路径，得到多个可行的硅片移动路径；所述各种可能的子路径包括硅片从源装载模块移动至缓冲模块中的子路径，以及硅片从缓冲模块移动至目标装载模块中的子路径；比较所模拟得到的多个可行的移动路径，获取其中用时最短的移动路径作为最优移动路径；按照最优移动路径执行硅片的移动任务。