表面检查设备中的检查头支撑结构

摘要

一对角接触轴承布置在检查头的轴承壳体与头支撑管之间，并且间隔件和弹簧轴承环布置在所述轴承的外圈之间。所述间隔件和弹簧轴承环被螺旋弹簧朝向所述外圈侧推动。O形环布置在所述间隔件与所述轴承的外圈之间，该外周附着于所述轴承壳体的内周。所述外圈被所述轴承壳体中的台阶部和螺接到所述检查头中的端帽限制。通过移除所述端帽，可以从所述轴承一体地取出所述轴承壳体和主轴部。该检查头设有附接至驱动机构的头主体、以及可移除地布置在头主体上并支撑镜的支撑部。

主权项

一种应用于表面检查设备的检查头支撑结构，所述表面检查设备在使检查头绕其轴线旋转的情况下从所述检查头的外周向检查对象照射检查光，接收从所述检查对象向所述检查头反射的反射光，并基于所述反射光的光量而对所述检查对象的表面进行检查，其中所述检查头包括中空的管状轴承装配部和从该轴承装配部向该检查头末端侧延伸的主轴部，所述检查头支撑结构包括：同轴地布置在所述检查头的轴承装配部内的头支撑轴；一对轴承，所述一对轴承沿所述检查头的轴向彼此间隔开一距离地布置在所述头支撑轴的外周与所述轴承装配部的内周之间，并且能够分别施加径向负载和单向轴向负载；多个内圈限制装置，每个内圈限制装置将所述一对轴承的各内圈限制在位于所述头支撑轴上方的轴向恒定位置处；呈筒形或环形形状的第一压力预载部件和第二压力预载部件，它们以可相对于所述检查头沿轴向运动的方式并排布置在所述一对轴承的外圈之间；弹簧装置，该弹簧装置布置在所述第一压力预载部件和第二压力预载部件之间，并且各弹簧装置朝向所述一对轴承的各外圈推动各压力预载部件；布置在所述第一压力预载部件与所述轴承之一的外圈之间的弹性材料环，该弹性材料环的外周与所述轴承装配部的内周接触；以及多个外圈限制装置，各外圈限制装置通过布置在所述轴承装配部内的第一限制部和可拆装地布置在所述检查头的基端部的第二限制部，从外侧沿轴向限制所述一对轴承的各外圈，其中，所述检查头构造成，在所述检查头包含有所述轴承装配部和所述主轴部的情形下，通过从所述检查头移除所述第二限制部，能够从所述一对轴承的上方朝向所述末端侧沿轴向取出所述检查头。