| 发明名称 | 光致抗蚀剂组合物、其涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供涂布时不形成条斑等的LCD-TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂组合物的涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法。排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物含有：(A)碱可溶性树脂、(B)感光剂、以及(C)由含以通式(1)：CH2＝CR1COOCH2CH2C8F17(式中，R1是氢原子或者甲基)表示的氟代烷基单体(m1)和含以通式(2)：CH2＝CR2COO(C3H6O)nH(式中，R2是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7)表示的聚氧丙烯单体(m2)构成的单体混合物(m)进行聚合而得到的共聚物(P)，上述单体混合物(m)中的上述单体(m1)和(m2)的混合比(m1)/(m2)是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物(P)的重均分子量是3000～10000的氟系表面活性剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101154040B | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN200710153550.7 | 申请日期 | 2007.09.21 |
| 申请人 | AZ电子材料IP(日本)株式会社;大日本油墨化学工业株式会社 | 发明人 | 池本准;岛仓纯一;高野圣史;松尾二郎 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/008(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 用于g线、h线、i线或其混合波长的LCD‑TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物，其特征在于，含有(A)碱可溶性树脂，(B)包含萘醌二叠氮基磺酰氯与选自多羟基二苯甲酮类和双((多)羟基苯基)烷烃类的含有羟基的低分子化合物的缩合物的至少一种的感光剂，以及(C)氟系表面活性剂，该氟系表面活性剂是由包含通式(1)表示的氟代烷基单体m1和通式(2)表示的聚氧丙烯单体m2的单体混合物m进行聚合而得到的共聚物P，并且上述单体混合物m中的上述单体m1和m2的混合比m1/m2是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物P的重均分子量是3000～10000；CH2＝CR1COOCH2CH2C8F17 (1)式中，R1是氢原子或者甲基，CH2＝CR2COO(C3H6O)nH (2)式中，R2是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||