| 摘要 |
<p>본 발명은 유체의 흐름을 이용해 생성된 진공을 저장하였다가 진공이 필요한 장치에 진공도가 일정한 진공을 제공하도록, 상부 면에 유체가 안쪽으로 유입가능하도록 형성되는 유입부(11)와, 상기 유입부(11)로 유입된 유체를 상기 유입부 하부에서 직각방향으로 유출하도록 상기 유입부(11) 하부 측단에 형성되는 유출부(12)와, 상기 유입부(11)가 형성된 상면에서 수직방향으로 하향하면서 상기 유출부(12)까지 직각방향으로 연장형성하되 상기 직각방향 부위에서 내측으로 직각으로 볼록한 만곡면(15)을 이루도록 형성되는 측벽(13)과, 상기 측벽(13)의 내부공간에서 상기 유입부(11)의 수직선상에 위치하고 측면이 하향할수록 점점 넓어지는 경사면(17a)을 이루며 상기 경사면(17a)의 하측 끝단과 상기 측벽(13) 간에는 유체가 지나갈 수 있을 정도의 좁은 간격을 유지하여 상기 유입부(11)로 유입된 유체를 상기 측벽(13)의 만곡면(15)으로 유도하는 노즐부(17)와, 상기 노즐부(17)에 의해 상기 측벽(13)의 만곡면(15)을 따라 상기 유출부(12)로 이동하는 유체의 흐름으로 상기 노즐부(17) 하방 중앙부에 진공이 생성되는 공간인 진공영역(18)과, 상기 진공영역(18)의 한쪽으로 상기 측벽(13)에 형성되고 상기 진공영역(18)에서 생성되는 진공을 유출가능하도록 한 진공유출부(19)를 구비하는 진공발생기(10)와; 상기 진공발생기(10)에서 생성된 진공을 진공챔버(20) 일측에 연결된 진공유입부(21)를 통하여 저장하되 외부로부터 밀폐된 내부공간을 형성하고 한쪽에는 저장된 진공을 복수의 장비로 공급가능하도록 진공챔버(20) 타측에 연결된 진공공급부(22)가 형성되는 진공챔버(20)와; 상기 진공발생기(10)에서 생성된 진공이 상기 진공챔버(20)로 공급가능하도록 상기 진공발생기(10)와 상기 진공챔버(20)의 진공유입부(21) 사이에 연결되고 공급개폐밸브(31)가 설치되는 공급관(30);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공장치를 제공한다.</p> |
