| 摘要 |
<p>진공흡인 가능하게 이루어진 처리 용기(32) 내에서 피(被)처리체(W)에 대하여 플라즈마를 이용하여 플라즈마 처리를 행하도록 한 플라즈마 처리 장치의 클리닝 방법에 있어서, 처리 용기 내로 클리닝 가스를 공급하면서 플라즈마를 발생시켜 처리 용기 내를 제1 압력으로 유지하여 클리닝을 행하는 제1 클리닝 공정과, 처리 용기 내로 클리닝 가스를 공급하면서 플라즈마를 발생시켜 처리 용기 내를 제1 압력보다도 높은 제2 압력으로 유지하여 클리닝을 행하는 제2 클리닝 공정을 갖는다. 이에 따라, 처리 용기의 내벽면이나 처리 용기 내의 부재에 손상을 주는 일 없이, 클리닝을 효율적으로, 그리고 신속하게 행한다.</p> |
