气体喷洒模组

摘要

一种气体喷洒模组，包括喷洒头主体、供气板、气体分布板以及气体喷洒板。喷洒头主体具有气体喷洒面和与其相对的进气面。供气板设于进气面，具有至少一第一气孔。气体分布板设于气体喷洒面与进气面之间的喷洒头主体内，具有多个第二气孔。气体喷洒板设于气体喷洒面，具有多个第三气孔。供气板与气体分布板之间距、气体分布板与气体喷洒板之间距介于7～9mm。第一气孔与第二气孔数量之比例、第二气孔与第三气孔数量之比例介于1:4～1:100。第二气孔的数量介于900个～1050个。第二气孔是沿气体分布板之表面上的两垂直方向呈45度角对称分布。