微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种经配置以将一图案从一图案化元件转移至一基板上的微影装置，该装置包括一经构造以固持一基板的基板台、一组态以将该基板台夹钳至一基板台支撑结构的第一夹钳系统，与一组态以在该基板台系夹钳至该基板台支撑结构后将一基板夹钳至该基板台的第二夹钳系统。