透氢薄膜结构及其制作方法

摘要

一种透氢薄膜的制作方法，是先提供一个阳极氧化铝(AAO)支撑物，再敏化及活化前述阳极氧化铝支撑物表面。随后，于阳极氧化铝支撑物表面无电电镀一层第一钯膜，再于第一钯膜表面电浆镀制一层第二钯膜。上述方法利用阳极处理制备氧化铝支撑物，均匀开孔的原理，来改良并增加钯膜支撑物的开孔率及表面均匀度，使得钯膜镀至支撑物表面的厚度能够在最薄的状况下获得致密，同时可使氢气通量符合商业化应用。