反应室的清洁方法

摘要

一种反应室的清洁方法。首先，进行第一清洁步骤，包括将含氟气体及含氧气体通入反应室，其中含氟气体不包括含硫的氟化物。然后，进行第二清洁步骤，包括将O2通入反应室。