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본 발명은 RF 전력 분배 장치 및 RF 전력 분배 방법을 제공한다. 이 장치는 RF 전원의 전력을 전달하는 임피던스 매칭 네트워크, 및 축전 결합 플라즈마를 생성하는 적어도 하나의 전극에 임피던스 매칭 네트워크의 출력 전력을 분배하는 전력 분배부를 포함한다. 전력 분배부는 제1 전극에 직렬 연결된 제1 리액턴스 소자, 일단은 제1 리액턴스 소자 및 제1 전극에 병렬 연결되고 타단은 접지되는 가변 축전기, 및 일단은 가변 축전기의 일단과 제1 리액턴스 소자의 일단이 서로 접촉하는 제1 노드에 연결되고, 타단은 제2 전극 및 임피던스 매칭 네트워크의 출력단이 연결되는 제2 노드에 연결되는 제2 리액턴스 소자를 포함한다. |
