| 摘要 |
<p>OLED 제조용 박막 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 OLED 제조용 박막 증착 장치는, 챔버; 챔버의 바닥면에 교차되는 방향을 따라 챔버 내에 마련되는 얼라인 레퍼런스부; 얼라인 레퍼런스부와 나란하게 배치되어 얼라인 레퍼런스부에 선택적으로 접촉 배치되는 마스크; 및 얼라인 레퍼런스부를 중심으로 마스크에 대향되게 배치되며, 마스크와 나란하게 배치되는 기판을 파지한 상태에서 얼라인 레퍼런스부를 기준으로 하여 마스크에 대해 기판을 얼라인시키는 기판 파지 얼라인 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 마스크의 사이즈 대비 처짐을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있고 챔버의 공간도 종래보다 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판과 마스크의 얼라인이 정밀하게 이루어질 수 있어 특히, 대형 OLED 양산 제조에 적합하게 적용될 수 있다.</p> |
