首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE
摘要 <p>본 발명에 의한 기판검사장치는 기판을 지지하는 스테이지; 상기 기판을 검사하는 비전수단; 및 상기 스테이지의 상부에서 상기 비전수단을 이동시키는 갠트리;를 포함하며, 상기 스테이지는 2개 이상으로 분할형성된다.</p>
申请公布号 KR101150396(B1) 申请公布日期 2012.06.01
申请号 KR20090125345 申请日期 2009.12.16
申请人 发明人
分类号 G01N21/88;G02F1/13 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com