| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 칩 검사용 탐침 장치에 관한 것으로서, 검사 전류가 안정적으로 흐를 수 있도록 구조를 개선하여 검사신뢰성이 향상한 검사용 탐침 장치를 제공하기 위하여, 상하가 개구된 배럴과 반도체 칩의 접속 단자에 접촉되는 탐침 돌기가 상단부에 형성되고 상기 배럴의 상부에 하부가 수용되는 상부 플런저와 상기 배럴의 하부에 상부가 수용되는 하부 플런저를 포함하여 이루어지는 반도체 칩을 검사하기 위한 검사용 탐침 장치에 있어서, 원통 형상의 실리콘에 금속볼이 함유되어 도전성을 띠는 도전성 실리콘부가 상기 배럴의 내부에 수용되되 상기 도전성 실리콘부는 상기 상부 플런저와 하부 플런저를 전기적으로 연결시키고, 반도체 칩 검사 과정에서 상부 플런저에 전달되는 하방 압력을 탄성 지지함을 특징으로 하여, 배럴 내부에 금속볼이 함유되어 도전성을 띠는 도전성 실리콘부가 삽입되어 검사 과정에서 상부 플런저를 탄성지지하고, 상기 도전성 실리콘부를 따라 검사 전류가 안정적으로 흐를 수 있도록 하여 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.</p> |
