| 摘要 |
본 발명은 포토마스크 주문을 자동으로 생성하고 처리하기 위한 포괄적인 전단 방법 및 시스템에 관한 것이다. 이 방법 및 시스템은 두개의 개별적이지만 관련된 소프트웨어 컴포넌트를 포함하고 있다. 본 발명의 제1 소프트웨어 컴포넌트는 포토마스크 주문을 특정 포맷으로 생성하는데 이용된다. 본 발명의 제2 소프트웨어 컴포넌트는 포토마스크 주문(제1 소프트웨어 컴포넌트에 의해 생성된 것)의 적어도 일부를 실질적 즉석-기입 가능 파일 및/또는 실질적 즉석-검사 가능 파일로 처리하며, 이 파일은 이후 포토마스크를 제조하기 위해 원격 포토마스크 제조업자의 시스템에 전송된다. 이들 소프트웨어 컴포넌트는 개별 프로그램으로서 컴퓨터 시스템에 설치될 수 있거나 아니면 다수의 펑션을 실행하는 단일 소프트웨어 패키지로서 동작한다. |
