| 摘要 |
<p>본 발명은 마스크와 기판 간의 얼라인먼트가 정확하게 유지되었는지를 쉽게 판단할 수 있는 테스트 기판의 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 테스트 기판 제조 방법은 기판의 전면에 ITO 층을 형성하는 단계; 얼라인먼트 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 ITO 층의 소정 위치에 얼라인먼트 마크들을 형성하는 단계; 및 ITO층 상에 유기물층과 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. 얼라인먼트 마크들은 유기물층 형성 예정 영역에 형성되며, 불투광성 재료가 증착됨으로서 형성된다.</p> |
