发明名称 CADMIUM STANNATE SPUTTER
摘要 A structure includes a barrier layer which can include a silicon aluminum oxide, and a transparent conductive oxide layer which can include a layer of cadmium and tin.
申请公布号 US2012132261(A1) 申请公布日期 2012.05.31
申请号 US201113171987 申请日期 2011.06.29
申请人 BULLER BENYAMIN;DAUSON DOUGLAS;MILLS SCOTT;ROBERTS DALE;YANG YU;ZHAO ZHIBO;BURROWS KEITH;HARTIG KLAUS;KRISKO ANNETTE 发明人 BULLER BENYAMIN;DAUSON DOUGLAS;MILLS SCOTT;ROBERTS DALE;YANG YU;ZHAO ZHIBO;BURROWS KEITH;HARTIG KLAUS;KRISKO ANNETTE
分类号 H01L31/048;H01L31/0224 主分类号 H01L31/048
代理机构 代理人
主权项
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