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Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufbringen von Schichten auf ein Bauteil vorgeschla5) aus einem ersten Beschichtungsstoff auf das Bauteil (1, 24) aufgetragen. Dann wird eine zweite Schicht (13, 26) auf die erste Schicht (12, 25) mittels eines Plasmagenerators durch Einleiten eines zweiten Beschichtungsstoffs oder eines Gemischs aus einem zweiten Beschichtungsstoff und einem Prozessgas in das mittels des Plasmagenerators erzeugte Plasma aufgetragen. Durch den Beschichtungsstoff oder durch das Gemisch aus Beschichtungsstoff und Prozessgas wird in dem Plasma eine UV-Strahlung erzeugt, mit der die erste Schicht (12, 25) behandelt und/oder bearbeitet wird.
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