| 摘要 |
<p>Eine molekulare Spiraltyp-Vakuumpumpstufe weist eine Rotorscheibe mit glatten Oberflächen auf, die mit einem Stator zusammenwirkt. Der Stator ist zumindest auf der Oberfläche, die der Rotorscheibe zugewandt ist, mit einer Mehrzahl von Spiralkanälen versehen, wobei das zu pumpende Gas in zentripetaler Richtung fließt. Die Querschnittsfläche (σ) der Kanäle ist von der Mitte zu dem Außenumfang des Stators reduziert. Auf Grund dieser Anordnung ist es möglich, die Reduzierung der inneren Gasflussgeschwindigkeit entlang der Pumpstufe und die verwandten Risiken der inneren Kompression oder Wiederausdehnung zu vermeiden, wodurch Leistungsverluste begrenzt werden. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf eine Vakuumpumpe, die zumindest eine Pumpstufe aufweist, wie sie oben beschrieben ist.</p> |
