| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil mit einem Substrat (10) mit einer Maximaloberfläche (24), deren Flächeninhalt größer oder gleich einem Einzel-Flächeninhalt jeder anderen Oberfläche des Substrats (10) ist, und mindestens einem Fenster (40) aus einem lichtdurchlässigen Material, welches geneigt zu der Maximaloberfläche (24) des Substrats ausgerichtet ist, wobei das mindestens eine Fenster (40) innerhalb mindestens einer in dem Substrat (10) ausgebildeten durchgehenden Aussparung (28) angeordnet ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für eine Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein mikro-opto-mechanisches Bauteil und ein Herstellungsverfahren für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil.</p> |
