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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Schrägflächen in einem Substrat, umfassend ein Ausbilden von Ausnehmungen auf beiden Hauptoberflächen des Substrats jeweils bis zu einer Tiefe, deren Summe größer als die Dicke des Substrats ist, also bis die Ausnehmungen so tief sind, dass das Substrat durch die beiden Ausnehmungen durchdrungen wird. Dabei wird eine Ausnehmung von einer ersten Hauptoberfläche her im Bereich einer ersten Fläche hergestellt und die andere Ausnehmung von der zweiten Hauptoberfläche her im Bereich einer zweiten Fläche, so dass die ersten Fläche und die zweite Fläche entlang einer Flächennormalen der Hauptoberflächen des Substrats nicht deckungsgleich sind. Danach werden auf den Hauptoberflächen jeweils flexible Membranen über den Ausnehmungen aufgebracht. Wenn daraufhin ein Unterdruck innerhalb der Ausnehmungen gegenüber dem Außendruck aufgebaut wird, wölben sich die flexiblen Membranen jeweils in Richtung der Ausnehmungen, bis ihre dem Substrat zugewandten Oberflächen sich im Wesentlichen in der Mitte der Ausnehmungen berühren.
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