| 发明名称 | 等离子体光源系统 | ||
| 摘要 | 一种等离子体光源系统，具备：多个等离子体光源（10），在规定的发光点（1a）对等离子体光（8）周期地进行发光；以及聚光装置（40），将等离子体光源的多个发光点的等离子体光聚光到单一的聚光点（9）。 | ||
| 申请公布号 | CN102484045A | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201080038879.9 | 申请日期 | 2010.08.25 |
| 申请人 | 株式会社IHI | 发明人 | 桑原一 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H05G2/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 毛立群;王忠忠 |
| 主权项 | 一种等离子体光源系统，其特征在于，具备：多个等离子体光源，在规定的发光点对等离子体光周期地进行发光；以及聚光装置，将所述等离子体光源的多个发光点的等离子体光聚光到单一的聚光点。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||