发明名称 |
处理基板的设备及方法 |
摘要 |
一种用以处理基板(150)的设备,包含:支撑构件(131),用以支撑该基板(150);输入构件(111),能够将该支撑构件(131)定位于第一位置(“1”、“3”)中;检测构件(200),能够检测放置在位于该第一位置(“1”、“3”)中的该支撑构件(131)上的该基板(150)的位置及方向数据;至少一个第一处理头(102),能够在第二位置(“2”、“4”)中进行第一处理;至少一个第二处理头(202),能够在第三位置(“5”)中进行不同于该第一处理的第二处理;移动构件(140),能够使该支撑构件(131)至少由该第一位置(“1”、“3”)移动至该第二位置(“2”、“4”)以及在该第二位置(“2”、“4”)及第三位置之间移动;该支撑构件(131)与该至少一个第二处理头(202)相互配置,以便在该第二处理过程中也将该基板(150)保持于相同的该支撑构件(131)上。 |
申请公布号 |
CN102481776A |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201080039551.9 |
申请日期 |
2010.09.02 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
安德里亚·巴奇尼;乔治欧·塞勒里;卢奇·德萨缇;马科·加里亚左;詹佛朗哥·帕斯奎林;托马索·沃尔克斯 |
分类号 |
B41F15/08(2006.01)I;B41F15/26(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H05K3/12(2006.01)I |
主分类号 |
B41F15/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 |
代理人 |
柳春雷 |
主权项 |
一种用于处理基板(150)的设备,包含:支撑构件(131),用以支撑所述基板(150);输入构件(111),能够将所述支撑构件(131)定位于第一位置(“1”、“3”)中;检测构件(200),能够检测放置在位于所述第一位置(“1”、“3”)中的所述支撑构件(131)上的所述基板(150)的位置及方向数据;至少一个第一处理头(102),能够在第二位置(“2”、“4”)中进行第一处理;至少一个第二处理头(202),能够在第三位置(“5”)中进行不同于所述第一处理的第二处理;移动构件(140),能够使所述支撑构件(131)至少由所述第一位置(“1”、“3”)移动至所述第二位置(“2”、“4”)以及在所述第二位置(“2”、“4”)和第三位置之间移动;所述支撑构件(131)与所述至少一个第二处理头(202)相互配置,以便在所述第二处理过程中也将所述基板(150)保持于相同的所述支撑构件(131)上。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |