发明名称 一种圆形石英舟
摘要 一种圆形石英舟,包括位于两端的挡板,所述挡板之间固定设置有至少三根连接杆,且所有连接杆的横截面均处于同一个圆周上;所述挡板为圆形,所述连接杆的外侧设置有支撑杆。本实用新型中所有连接杆的横截面处于同一圆周上,当硅片放入时,硅片与所有连接杆同时接触,分散了硅片与连接杆接触时的碰撞力,减小了硅片崩边的机率;同时,圆形的石英舟可侧置,便于取放硅片。
申请公布号 CN202259221U 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201120332595.2 申请日期 2011.09.06
申请人 湖州奥博石英科技有限公司 发明人 宋伟宏;计斌;陆建国;沈根法
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 代理人 赵卫康
主权项 一种圆形石英舟,包括位于两端的挡板(1),其特征在于:所述挡板(1)之间固定设置有至少三根连接杆(2),且所有连接杆(2)的横截面均处于同一个圆周上;所述挡板(1)为圆形,所述连接杆(2)的外侧设置有支撑杆(3)。
地址 313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇吴兴科技创业园鑫盛7号