发明名称 |
一种圆形石英舟 |
摘要 |
一种圆形石英舟,包括位于两端的挡板,所述挡板之间固定设置有至少三根连接杆,且所有连接杆的横截面均处于同一个圆周上;所述挡板为圆形,所述连接杆的外侧设置有支撑杆。本实用新型中所有连接杆的横截面处于同一圆周上,当硅片放入时,硅片与所有连接杆同时接触,分散了硅片与连接杆接触时的碰撞力,减小了硅片崩边的机率;同时,圆形的石英舟可侧置,便于取放硅片。 |
申请公布号 |
CN202259221U |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201120332595.2 |
申请日期 |
2011.09.06 |
申请人 |
湖州奥博石英科技有限公司 |
发明人 |
宋伟宏;计斌;陆建国;沈根法 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 |
代理人 |
赵卫康 |
主权项 |
一种圆形石英舟,包括位于两端的挡板(1),其特征在于:所述挡板(1)之间固定设置有至少三根连接杆(2),且所有连接杆(2)的横截面均处于同一个圆周上;所述挡板(1)为圆形,所述连接杆(2)的外侧设置有支撑杆(3)。 |
地址 |
313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇吴兴科技创业园鑫盛7号 |