研磨垫及其微型结构形成方法

摘要

本发明提供一种研磨垫，特别是有关于一种具有弹性微型结构的研磨垫。此研磨垫包含接合面与磨面，接合面用以固接于一研磨装置上，而磨面则用以研磨半导体或其它工件，其中磨面具有弹性微型结构，由此使得磨面可充份贴合于半导体或其它工件表面，以增加磨面与半导体或其它工件所接触的表面积，不但可节省研磨所需的时间，且亦可克服不同待磨物的研磨需求，达成较佳的研磨效果。

主权项

一种在研磨垫上形成微型结构的方法包含以下步骤，其特征在于：提供一由超细纤维形成的基材；含浸该基材于一树脂中；固化该含浸后的基材以形成一片材；以及研磨该片材的表面，得到微型结构的表面。