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发明名称 MONOLITHIC IC AND MEMS MICROFABRICATION PROCESS
摘要
申请公布号 EP2084747(A4) 申请公布日期 2012.05.30
申请号 EP20070864561 申请日期 2007.11.16
申请人 ALCES TECHNOLOGY, INC. 发明人 YEH, RICHARD;BLOOM, DAVID M.
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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