发明名称 流量传感器
摘要 为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性,本发明的流量传感器包括流量计算部(41),该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时,基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的Xd/Xu的数学式10,算出流量Q,所述流量计算部41通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS,对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。
申请公布号 CN102483340A 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201080039133.X 申请日期 2010.09.24
申请人 株式会社堀场STEC 发明人 高仓洋;山野翔平;衣斐宽之
分类号 G01F1/698(2006.01)I 主分类号 G01F1/698(2006.01)I
代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人 周善来;李雪春
主权项 一种流量传感器,在流体流动的导管中,在上游侧与下游侧设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体,并且设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路,通过所述恒温控制电路来对所述两个电阻体的温度进行控制,以使所述两个电阻体的温度成为固定的温度,该流量传感器的特征在于:包括流量计算部,该流量计算部在将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时,基于使用了Xd/Xu的数学式10,算出流量Q,所述Xd/Xu至少在某流量Q的范围内满足数学式9,所述流量计算部通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS,对作为所述流量Q为零时的输出的零点输出进行修正,[数学式9] <mrow> <mo>|</mo> <mfrac> <mrow> <mi>d</mi> <msub> <mi>V</mi> <mi>u</mi> </msub> </mrow> <mi>dQ</mi> </mfrac> <mo>|</mo> <mo>&cong;</mo> <mo>|</mo> <mfrac> <mrow> <mi>d</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>V</mi> <mi>d</mi> </msub> <msub> <mi>X</mi> <mi>d</mi> </msub> <mo>/</mo> <msub> <mi>X</mi> <mi>u</mi> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mi>dQ</mi> </mfrac> <mo>|</mo> </mrow>[数学式10] <mrow> <mi>Q</mi> <mo>=</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>V</mi> <mi>u</mi> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>V</mi> <mi>d</mi> </msub> </mrow> <mrow> <msub> <mi>V</mi> <mi>u</mi> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>V</mi> <mi>d</mi> </msub> <msub> <mi>X</mi> <mi>d</mi> </msub> <mo>/</mo> <msub> <mi>X</mi> <mi>u</mi> </msub> </mrow> </mfrac> <mo>+</mo> <mi>OFS</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mi>SENSx</mi> </mrow>在此,OFS为零偏函数,SENSx为将各恒温控制电路的输出的计算值转换为流量的转换函数。
地址 日本京都府