| 发明名称 | 放射线敏感性树脂组合物和化合物 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供满足曝光宽容度和MEEF性能的放射线敏感性树脂组合物及适合用于该放射线敏感性树脂组合物的化合物，该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下式(1)表示的基团与氮原子结合的结构的化合物、(B)具有酸解离性溶解抑制基团且通过酸的作用碱可溶性增大的树脂和(C)放射线敏感性酸产生剂。 | ||
| 申请公布号 | CN102483574A | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201080040708.X | 申请日期 | 2010.07.13 |
| 申请人 | JSR株式会社 | 发明人 | 中原一雄;佐藤光央 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;C07D211/44(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 左嘉勋;顾晋伟 |
| 主权项 | 1.一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)具有下式(1)表示的基团与氮原子结合的结构的化合物，(B)具有酸解离性溶解抑制基团且通过酸的作用碱可溶性增大的树脂，和(C)放射线敏感性酸产生剂；<img file="FDA0000142942800000011.GIF" wi="393" he="312" />式(1)中，Y为由下式(i)表示并且碳原子数为5～20的1价基团，“*”表示与氮原子的结合位点；<img file="FDA0000142942800000012.GIF" wi="381" he="260" />式(i)中，R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>各自独立地为碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基、或者碳原子数4～12的1价脂环式烃基，或者R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>相互结合而与它们所结合的碳原子一起形成碳原子数为4～12的2价脂环式烃基，“*”表示与氧原子的结合位点。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||