基板缓冲单元

摘要

本发明提供一种基板缓冲单元。该基板缓冲单元使向一个方向输送的基板临时退避，能够高效率地以空气清洗缓冲空间。该基板缓冲单元将在基板输送路径中输送的基板临时收容，使基板自上述基板输送路径退避，其中，包括：箱状的壳体，其上表面开放；载置部，其用于载置从上述基板输送路径被搬入到上述壳体内的基板；箱状的架子部，其被设置成能够将上述载置部移动到从上述基板输送路径离开的规定位置；空气导入口，其设置在上述架子部的一侧面上，用于向上述载置部导入清洁空气；排气部件，其连接于上述架子部，用于抽吸该架子部内的空气而将该空气排出到上述壳体外；排气窗，其设置在上述壳体侧面的比上述架子部靠下方的位置上，用于对该壳体内的气氛进行排气。

主权项

一种基板缓冲单元，其用于对在基板输送路径中输送的基板进行临时收容，使该基板自上述基板输送路径退避，其特征在于，包括：箱状的壳体，其上表面开放；载置部，其用于载置从上述基板输送路径被搬入到上述壳体内的基板；箱状的架子部，其被设置成能够将上述载置部移动到从上述基板输送路径离开的规定位置；空气导入口，其设置在上述架子部的一侧面上，用于向上述载置部导入清洁空气；排气部件，其连接于上述架子部，用于抽吸该架子部内的清洁空气而将该清洁空气从上述架子部的一侧面侧强制地导入，向一个方向流动，并将该清洁空气排出到上述壳体外；排气窗，其设置在上述壳体侧面的比上述架子部靠下方的位置上，用于排出从上述架子部的上方流动来的未被导入到上述架子部内而流到上述架子部的下方的清洁空气。