带液氮热沉的大口径低温泵

摘要

本实用新型公开一种带有液氮热沉的大口径低温泵，包括低温泵真空泵壳、GM制冷机冷头、低温吸附盘阵列、百叶窗式低温挡板、热沉径向支撑块、液氮热沉、热沉轴向支撑柱和一级屏蔽板，其中，液氮进出口弹性节穿过拱顶圆封盖并与直筒体内部的液氮热沉相连通，直筒体内部底端与GM制冷机冷头同轴设置有百叶窗式低温挡板以避免外界热辐射，低温吸附圆盘阵列的吸附盘上设置有活性炭。本实用新型的低温泵带有液氮热沉，解决了制冷机一级制冷量不足，不能满足大口径低温泵的冷量要求，同时采用二级制冷量较大的制冷机，提高了二级吸附阵的吸附质量，从而提高低温泵的耐冲击能力及抽气容量。

主权项

一种带有液氮热沉的大口径低温泵，包括低温泵真空泵壳、GM制冷机冷头、低温吸附盘阵列、百叶窗式低温挡板、热沉径向支撑块、液氮热沉、热沉轴向支撑柱和一级屏蔽板，其特征在于，低温泵真空泵壳包括直筒体和焊接其顶部的拱顶圆封盖以及焊接其底部的进口法兰，直筒体外侧壁上对称设置有吊耳，拱顶圆封盖顶面一侧上设置有前级泵接口，顶面另一侧设置有安全阀接口，封盖靠近直筒体侧壁的两侧分别设置有液氮进出口弹性节且其通过封头进行密封，GM制冷机冷头与所述真空泵壳同轴，一级屏蔽板固定在GM制冷机冷头的一级换热器上，低温吸附圆盘阵列固定在GM制冷机冷头的二级换热器上，一级屏蔽板和低温吸附圆盘阵列周围设置减少GM制冷机冷头冷量散失的液氮热沉，液氮热沉通过热沉径向支撑块进行径向支撑，通过热沉轴向支撑柱进行轴向支撑，液氮进出口弹性节穿过拱顶圆封盖并与直筒体内部的液氮热沉相连通，直筒体内部底端与GM制冷机冷头同轴设置有百叶窗式低温挡板以避免外界热辐射，低温吸附圆盘阵列的吸附盘上设置有活性炭。