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发明名称
摘要
申请公布号
JP4944402(B2)
申请公布日期
2012.05.30
申请号
JP20050203910
申请日期
2005.07.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8234;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/06
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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