| 发明名称 | 一种涂覆方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于硅基液晶（LCoS）微显示器件制造的技术领域，具体涉及一种应用于LCoS液晶盒制作的涂覆方法，包括如下步骤：将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。本发明采用的涂覆方法使衬垫珠分散的更均匀，同时密度更低，使器件发光性能得到显著提高。 | ||
| 申请公布号 | CN102476092A | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201010563738.0 | 申请日期 | 2010.11.29 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 胡明玮;黄苒;杜寰;韩郑生;林斌 |
| 分类号 | B05D1/26(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I | 主分类号 | B05D1/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 王建国 |
| 主权项 | 一种涂覆方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；（2）将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；（3）使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；（4）使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；（5）LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 | ||