用于将基板引入处理室的系统和方法

摘要

提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以在闸门阀关闭时防止将基板引入处理室。

主权项

一种与用于处理基板的处理室一起使用的装置，所述装置包括：闸门阀传感器，其被构造成检测用于打开或关闭处理室中开口的闸门阀的位置并且输出相应的信号；判断装置，其被构造成从闸门阀传感器接收信号，以判断闸门阀处于相对于处理室中开口的打开还是关闭位置，并且输出相应的信号；以及通知装置，其被构造成从所述判断装置接收信号，并且提供闸门阀位置的视频和声频指示中的至少一种。