发明名称 Korpuskularstrahlgeraet, insbesondere Elektronenmikroskop, mit mindestens einer Schleusvorrichtung
摘要
申请公布号 DE1233073(B) 申请公布日期 1967.01.26
申请号 DE196300S5471 申请日期 1963.05.30
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WILKE FELIX;SCHOMBURG WILLY
分类号 H01J37/16;H01J37/18 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
主权项
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