双向阀及使用工业气体的半导体加工系统

摘要

本发明公开了一种双向液体阀。本发明中可利用双向阀实现气体容器和处理设备之间的连通，使得气体容器既可向处理设备提供工业气体、又可从处理设备回收废气，从而只需一台气体洗刷器即可。而且，只需利用一膜片在现有逆制阀内开设另一端口间的连通路径、并利用一控制杆实现该连通路径的闭合控制即可实现本发明，因而使得本发明的方案易于实现、且通过对现有逆制阀的再利用进一步节省了成本。

主权项

一种双向阀，包括一阀体，其中，阀体具有第一端口和第二端口；阀体内设有可将第一端口与第二端口连通的阀腔；阀腔内收容一活塞，该活塞可在第一端口的压力推动下保持前述连通、在第二端口的压力推动下阻塞前述连通；其特征在于，阀体还内设有容置腔；容置腔内具有一膜片，该膜片的边缘固定于容置腔内壁、且该膜片的中部可与前述内壁之间留有将第一端口与第二端口连通的间隙；容置腔内还插入有一控制杆，该控制杆可通过在伸入容置腔方向上的运动使膜片与前述内壁紧密接触、通过在退出容置腔方向上的运动保持前述间隙。