基板缓冲单元

摘要

本发明提供使在基板输送路径中向一个方向输送的基板暂时退避的基板缓冲单元，其能够高效率地进行缓冲空间的空气清洗，且能降低成本。该基板缓冲单元包括：箱状的架部(2)，设置在基板输送路径上，具有载置基板的载置部(6)，且能够将基板移动到脱离上述基板输送路径的规定位置；清洁空气供给部件(4)，设置在上述箱状的架部的上表面或者侧面，用于供给净化后的清洁空气；通风路径(5)，将上述清洁空气供给部件和上述架部的一侧面连接起来；自上述清洁空气供给部件供给来的清洁空气被从形成于上述箱状的架部的一侧面的空气导入口(7)供给到上述载置部，并被从设置在上述箱状的架部的与上述空气导入口相对侧的侧面的空气导出口(8)排出。

主权项

一种基板缓冲单元，其用于暂时收容在基板输送路径中输送的基板，使该基板自上述基板输送路径退避，其特征在于，该基板缓冲单元包括：箱状的架部，其设置在上述基板输送路径中，具有用于载置基板的载置部，并且能够将上述基板移动到脱离上述基板输送路径的规定位置；清洁空气供给部件，其设置在上述箱状架部的上表面或者侧面，用于供给被净化后的清洁空气；通风路径，其用于将上述清洁空气供给部件和上述架部的一侧面连接起来；自上述清洁空气供给部件供给来的清洁空气被从设置于上述箱状的架部的一侧面上的空气导入口供给到上述载置部，并被从设置在上述箱状的架部的、与上述空气导入口相对侧的侧面上的空气导出口排出。