对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器

摘要

本发明公开了一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器。包括增益波导、前布拉格反射镜和后布拉格反射镜，整个激光器在垂直方向由上包层、芯层和下包层构成。前布拉格反射镜由前波导以及沿前波导轴向等间隔排列的与前波导中心线两侧对称的前刻蚀槽组组成，后布拉格反射镜由后波导以及沿后波导轴向等间隔排列的与后波导中心线两侧对称的后刻蚀槽组组成，前、后刻蚀槽组中的刻蚀槽刻蚀穿过对应区域的芯层。本发明通过引入对称的刻蚀槽结构，降低额外损耗，提高了激光器性能；无需二次外延，制作工艺得到简化；前、后布拉格反射镜产生有差别的梳状反射光谱，由于游标效应，扩大了激光器的自由光谱区和波长调谐范围。

主权项

一种对称刻蚀槽形成布拉格光栅的波长可调谐激光器，包括增益波导(1)、前布拉格反射镜和后布拉格反射镜，整个激光器在垂直方向由上包层(5)、芯层(6)和下包层(7)构成；其特征在于：所述前布拉格反射镜(2)由前波导(21)以及沿前波导(21)轴向等间隔排列的与前波导(21)中心线两侧对称的前刻蚀槽组(22)组成，所述后布拉格反射镜(3)由后波导(31)以及沿后波导(31)轴向等间隔排列的与后波导(31)中心线两侧对称的后刻蚀槽组(32)组成，所述前刻蚀槽组(22)和后刻蚀槽组(32)中的刻蚀槽刻蚀穿过对应区域的芯层(6)；所述的等间隔前刻蚀槽组(22)和等间隔后刻蚀槽组(32)排列的周期是不相等。