| 发明名称 |
模仁的制造方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种模仁的制造方法，包括以下步骤：提供一个可透过紫外光的玻璃基板；在该玻璃基板的表面形成一层光阻层；对该光阻层进行曝光显影，从而在该光阻层形成多个预定排列的通孔；蚀刻该多个通孔所对应的玻璃基板表面，从而在该玻璃基板的表面形成多个相应的凹槽；在每个凹槽中填充光固化材料；去除光阻层，并保持未设置凹槽的玻璃基板表面暴露在外；固化每个凹槽的光固化材料；利用超精密加工机床对每个凹槽内的光固化材料进行加工，在每个凹槽的光固化材料表面均形成一个成型面，从而得到具有多个成型面的模仁。 |
| 申请公布号 |
CN101770163B |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
| 申请号 |
CN200810306572.7 |
申请日期 |
2008.12.27 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
骆世平 |
| 分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;B23C3/00(2006.01)I;B23C5/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种模仁的制造方法，其包括以下步骤：提供一个可透过紫外光的玻璃基板；在该玻璃基板的表面形成一层光阻层；对该光阻层进行曝光显影，从而在该光阻层形成多个预定排列的通孔；蚀刻该多个通孔所对应的玻璃基板表面，从而在该玻璃基板的表面形成多个相应的凹槽；在每个凹槽中填充光固化材料；去除光阻层，并保持未设置凹槽的玻璃基板表面暴露在外；固化每个凹槽的光固化材料；利用超精密加工机床对每个凹槽内的光固化材料进行加工，在每个凹槽的光固化材料表面均形成一个成型面，从而得到具有多个成型面的模仁。 |
| 地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
