发明名称 |
具有探针清洁功能的点测机 |
摘要 |
一种具有探针清洁功能的点测机,包含工作盘、至少一探针、吹气装置、集尘装置以及控制结构;工作盘的顶面用以承放一待测物;探针设置于该工作盘的顶面上方;吹气装置设置于该工作盘的一侧,以朝平行于该工作盘的一第一方向产生一气流;集尘装置设置于该工作盘的一侧,以接收该第一方向的该气流。 |
申请公布号 |
CN202256598U |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201120371197.1 |
申请日期 |
2011.09.27 |
申请人 |
致茂电子(苏州)有限公司 |
发明人 |
温俊熙;李聪明;白智亮;吴柏汉 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I;B08B5/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
梁挥;常大军 |
主权项 |
一种具有探针清洁功能的点测机,其特征在于,包含:一工作盘,该工作盘的顶面用以承放一待测物;至少一探针,设置于该工作盘的顶面上方;一吹气装置,设置于该工作盘的一侧,以朝平行于该工作盘的一第一方向产生一气流;以及一集尘装置,设置于该工作盘的一侧,以接收该第一方向的该气流。 |
地址 |
215011 江苏省苏州高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房 |