发明名称 具有探针清洁功能的点测机
摘要 一种具有探针清洁功能的点测机,包含工作盘、至少一探针、吹气装置、集尘装置以及控制结构;工作盘的顶面用以承放一待测物;探针设置于该工作盘的顶面上方;吹气装置设置于该工作盘的一侧,以朝平行于该工作盘的一第一方向产生一气流;集尘装置设置于该工作盘的一侧,以接收该第一方向的该气流。
申请公布号 CN202256598U 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201120371197.1 申请日期 2011.09.27
申请人 致茂电子(苏州)有限公司 发明人 温俊熙;李聪明;白智亮;吴柏汉
分类号 G01R31/26(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I;B08B5/00(2006.01)I 主分类号 G01R31/26(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 梁挥;常大军
主权项 一种具有探针清洁功能的点测机,其特征在于,包含:一工作盘,该工作盘的顶面用以承放一待测物;至少一探针,设置于该工作盘的顶面上方;一吹气装置,设置于该工作盘的一侧,以朝平行于该工作盘的一第一方向产生一气流;以及一集尘装置,设置于该工作盘的一侧,以接收该第一方向的该气流。
地址 215011 江苏省苏州高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房