| 发明名称 | 快速调节多晶制绒减薄量的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种快速调节多晶酸制绒减薄量的方法，该方法通过调节酸制绒过程的中间产物HNO2的浓度来调节硅片与酸液的反应速率，从而调节硅片的减薄量，有效降低现有控制减薄量的方法中调整机器带速、手动添加酸液(或者暂停自动添加酸液)、调整反应液温度等方法对产量及后续工序的影响，该方法操作简易、成本低廉、加入NO气体或者H2O2液体能快速调节HNO2的浓度，进而快速调节硅片的减薄量。 | ||
| 申请公布号 | CN102479868A | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201010558410.X | 申请日期 | 2010.11.25 |
| 申请人 | 浙江贝盛光伏股份有限公司 | 发明人 | 沈策;张海益;聂佳相 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人 | 金辉 |
| 主权项 | 一种快速调节多晶酸制绒减薄量的方法，其特征在于：通过调节酸制绒过程的中间产物HNO2的浓度来调节硅片与酸液的反应速率，从而调节硅片的减薄量。 | ||
| 地址 | 313008 浙江省湖州市织里镇珍贝路800号 | ||