形成光学平台的方法

摘要

一种形成光学平台的方法，包括：提供衬底；利用干法刻蚀图形化所述衬底，形成凹槽；第一次氧化所述图形化的衬底，在图形化的衬底的表面以及凹槽的表面形成氧化膜；图形化所述凹槽底部的衬底和氧化膜，形成器件台、器件台两侧的通孔；第二次氧化所述衬底，在所述通孔的侧壁形成氧化膜；沉积金属，覆盖所述衬底上表面、下表面、凹槽底部和侧壁以及通孔侧壁的氧化膜。本发明利用干法刻蚀在衬底中形成凹槽，可以通过调整干法刻蚀中气体的压强，调整形成的凹槽的侧壁与底部的夹角，从而可以选择合适的压强，选择合适的凹槽的侧壁与底部的夹角，在多个凹槽内设置LED时，优化LED的二次光学效率，也就是减少LED的光能量的损失，节省能源。

主权项

一种形成光学平台的方法，其特征在于，包括：提供衬底；利用干法刻蚀图形化所述衬底，形成凹槽；第一次氧化所述图形化的衬底，在图形化的衬底的表面以及凹槽的表面形成氧化膜；图形化所述凹槽底部的衬底和氧化膜，形成器件台、器件台两侧的通孔；第二次氧化所述衬底，在所述通孔的侧壁形成氧化膜；沉积金属，覆盖所述衬底上表面、下表面、凹槽底部和侧壁以及通孔侧壁的氧化膜。