包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备

摘要

提供一种用来搬运基板的机器人，其中，冷却接触型真空密封件，防止真空密封件超过耐热温度，并防止引起大气漏入维持气密的搬运室的缺点。在用来在真空环境下搬运基板的包含一组臂的机器人的驱动设备中，用来驱动以旋转一组臂(40)的驱动设备(1)布置在大气侧和真空侧之间并且在大气侧被驱动，驱动设备在固定构件和输出构件之间设置有接触型真空密封件(30)，此外，油密封件(21)在固定构件和输出构件之间设置在接触型真空密封件的大气侧上，接触型真空密封件和油密封件在固定构件和输出构件之间形成环状空间(50)，并且固定构件设置有从大气侧到环状空间的冷却循环路径的供给口(51)和从环状空间到大气侧的冷却循环路径的排出口(52)。

主权项

一种用于在真空环境下搬运基板的容纳一组臂的机器人的驱动设备，包括：齿轮设备，用于驱动以旋转所述组的臂，所述齿轮设备布置在大气侧和真空侧之间并且在所述大气侧被驱动，使得所述齿轮设备在所述大气侧被驱动；真空密封件，设置在固定构件和输出构件之间；和油密封件，在所述固定构件和所述输出构件之间布置在所述真空密封件的所述大气侧上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述固定构件和所述输出构件之间形成环状空间；其中，形成冷却循环路径，使得所述固定构件设置有：从所述大气侧到所述环状空间的所述冷却循环路径的供给口；和从所述环状空间到所述大气侧的所述冷却循环路径的排出口。