高真空阀

摘要

本发明提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座。其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。

主权项

一种高真空阀，包括：阀体部和阀驱动部，在所述阀体部中设置有阀座，该阀座位于形成在第一阀口和第二阀口之间的流路中，所述阀体部中还设置有开闭件，通过所述开闭件与所述阀座的接合或分离，以此来开闭所述流路；所述阀驱动部用于驱动连结在推杆顶端的开闭件来开闭阀座，由驱动机构驱动的推杆贯穿所述阀体部中面向阀座的流路壁，插入所述流路中，所述推杆与所述流路壁之间保持密封状态，其特征在于：在所述阀体部的流路壁上供所述推杆贯通的贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的所述流路一侧设置有用来保持润滑脂的密封部件，而在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的另一侧设置有用来真空密封的密封部件，由此在所述贯通孔中形成轴封，所述润滑脂槽的轴向长度与所述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程，上述润滑脂槽两端的密封部件设置成：在开闭件开或闭的任意一个行程中，推杆表面的与润滑脂槽接触的部分能够接触到所述密封部件的其中之一，在所述贯通孔内的流路一侧端设置有刮板。