一种多晶硅还原炉

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅还原炉，它包括炉体和固定在炉体底端的底盘，所述底盘上均匀分布安装有电极，所述炉体外侧连接有广角视镜，炉体顶部采用半球形封头密封。本实用新型的底盘上设有48对或60对电极，扩大了还原炉的直径，大大降低了还原电耗，提高了单炉产量。广角视镜具有视角大，成像清晰、直观，观察方便等特点，能将炉内135°视角范围内的物像尽收眼前，使工作人员在巡检时能够更准确、清晰地了解还原炉内物料的状况，保证了还原炉安全稳定的运行。钟罩上封头采用夹套式半球形封头，半球形封头薄膜应力沿整个半球壳均布，且大小相等，受力情况最好。

主权项

一种多晶硅还原炉，包括炉体（5）和固定在炉体底端的底盘（1），其特征在于,所述底盘上均匀分布安装有电极（8），所述炉体外侧连接有广角视镜（3），炉体顶部采用半球形封头（2）密封。