发明名称 多晶硅尾气吸附装置
摘要 一种多晶硅尾气吸附装置,由尾气入口、尾气出口、再生气入口、再生气出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒体组成。尾气入口和尾气出口分别设置于吸附装置的下端和顶端,再生气入口和再生气出口设置于筒体一侧的下部和上部,筒体另一侧的下部和上部分别设置蒸汽入口和冷凝水出口。该装置对尾气进行有效的治理,不仅可以提高原料的利用率,还可以降低三废的排放量。
申请公布号 CN202237705U 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201120367982.X 申请日期 2011.09.30
申请人 江西晶大半导体材料有限公司 发明人 陶刚义
分类号 B01D53/02(2006.01)I;B01D53/14(2006.01)I 主分类号 B01D53/02(2006.01)I
代理机构 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 代理人 徐光熙
主权项 一种多晶硅尾气吸附装置,其特征是:所述装置由尾气入口、尾气出口、再生气入口、再生气出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒体组成;尾气入口和尾气出口分别设置于吸附装置的下端和顶端,再生气入口和再生气出口设置于筒体一侧的下部和上部,筒体另一侧的下部和上部分别设置蒸汽入口和冷凝水出口。
地址 330115 江西省南昌市北郊新祺周桑海南大道