振动型悬臂支架和扫描探针显微镜

摘要

一种用于固定与样品相对的悬臂的振动型悬臂支架，其仅在其底端处被支撑在主体部分上并在其前端上具有探针。该支架包括：悬臂附着台，主体部分放置在其上并且利用相对于样品以预定角度倾斜的悬臂来固定；第一振动源，其被固定到悬臂附着台并以依赖于预定波形信号的相位和幅度振动；支架主体，第一振动源被固定到该支架主体；和第二振动源，其被固定到支架主体上的至少一个位置并产生振动以抵消从第一振动源行进到悬臂附着台和支架主体的振动。通过抵消另外的振动，根据仅仅悬臂的振动特性该支架允许该悬臂振动。

主权项

一种用于固定与样品相对的悬臂的振动型悬臂支架，该悬臂在其前端上具有探针且仅在其底端处被支撑在主体部分上，其包括：悬臂附着台，主体部分放置在其上并且利用相对于样品以预定角度倾斜的悬臂来固定；第一振动源，其被固定到悬臂附着台并以依赖于预定波形信号的相位和幅度振动；支架主体，第一振动源被固定到该支架主体；和第二振动源，其被固定到支架主体上的至少一个位置并产生振动以抵消从第一振动源行进到悬臂附着台和支架主体的振动。