显影液控制系统

摘要

本发明公开了一种显影液控制系统，其包括有通过管道与显影液储槽单元连通的化学和水供应单元，用于检测所述显影液储槽单元内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元，在连通所述化学和水供应单元与所述显影液储槽单元之间的管道上增设有控制单元，所述控制单元分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元连通，对所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元反馈的信息控制所述化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入去离子水或/和浓纯显影液。具有实时监测与控制的功能，还具有校准功能，可以确保产品的合格率。

主权项

一种显影液控制系统，包括有通过管道与显影液储槽单元(11)连通的化学和水供应单元(14)，及用于检测所述显影液储槽单元(11)内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)，其特征在于，在连通所述化学和水供应单元(14)与所述显影液储槽单元(11)之间的管道上增设有控制单元(20)，所述控制单元(20)分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)连通，对所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)反馈的信息控制所述化学和水供应单元(14)向所述显影液储槽单元(11)输入去离子水或/和浓纯显影液；所述控制单元(20)包括有浓度转换器(26)，联排气压开关(30)，用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)、用于控制浓纯显影液的压力控制阀门(28)、用于控制去离子水的压力控制阀门(29)，第一流量计(34)、第二流量计(35)、第三流量计(36)、手动控制阀(40)及用于连通去离子水的管道(17)、用于连通浓纯显影液的管道(18)、用于连通标准纯显影液的管道(19)、用于引出标准浓度显影液的管道(23)；所述联排气压开关(30)通过信号数据传输线与所述浓度转换器(26)连接，同时通过第一气体管道(31)、第二气体管道(32)、第三气体管道(33)分别与用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)、用于控制浓纯显影液的压力控制阀门(28)、用于控制去离子水的压力控制阀门(29)连通，并根据所述述浓度转换器(26)传送的信号控制用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)、用于控制浓纯显影液的压力控制阀门(28)、用于控制去离子水的压力控制阀门(29)，所述用于控制标准纯显影液的压力控制阀门(27)经所述第一流量计(34)后分别与所述显影液储槽单元(11)、显影剂浓度检测单元(13)及紫外吸光检测单元(12)连通，并在所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)与所述第一流量计(34)之间设置所述手动控制阀(40)。