发明名称 组装至少两个板的方法及该方法用于制备离子束溅射组合件的应用
摘要 本发明涉及一种方法,包括:在一个板(2)上以相互间隔的方式设置粘合剂材料的液滴(3);在具有液滴(3)的板(2)上施加具有小于液滴(3)厚度的预定厚度的格栅(5);对至少一个板施加垂直均匀的压力,使得液滴(3)可以铺展并与两个板(1)和(2)的相对表面接触;其中所述液滴间的间隔(4)限定为使得在所施加压力下铺展之后,在所述液滴之间不存留空气。
申请公布号 CN101646798B 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN200880007273.1 申请日期 2008.03.03
申请人 H.E.F.公司 发明人 米歇尔·马丁;菲利普·毛林-佩里耶;克里斯托弗·埃奥;奥利维耶·布朗德内
分类号 C23C14/00(2006.01)I 主分类号 C23C14/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 顾晋伟;王春伟
主权项 一种用于组装至少两个板(1、2)的方法,其特征在于:‑在一个板(2)上以相互间隔的方式设置粘合剂材料的液滴(3);‑在接收所述液滴(3)的所述板(2)上施加具有小于所述液滴(3)厚度的预定厚度的格栅(5);‑对所述板中的至少一个施加垂直均匀的压力,使得所述液滴(3)铺展并与所述两个板(1、2)的相对表面接触;‑所述液滴的间隔(4)限定为:使得在所施加压力下铺展之后,在所述液滴之间不存留空气。
地址 法国布德龙