一种多段式匹配器

摘要

本发明涉及半导体设备领域，具体为一种用于半导体设备中的多段式匹配器。该匹配器连接于射频电源和等离子体设备腔体之间，具体为一系列的固定电容串联，连在射频电源与等离子体设备腔体之间；依据等离子体设备腔体的不同工艺的不同阻抗，每个固定电容靠近射频电源一侧有选择的连接于射频电源。并选择一固定电感，固定电感的一端接地；根据不同的等离子体设备腔体，固定电感的另一端可以选择接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。本发明所有器件都是固定式的，整个匹配器是多段式的，并且最大限度的利用了每个器件，成本低，易于实现控制，主要解决的技术问题是在低成本、高可靠性、结构简单的条件下完成等离子体设备的阻抗匹配。

主权项

一种多段式匹配器，其特征在于：一系列的固定电容串联，连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。